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高真空擴(kuò)散泵油的另一個重要性能參數(shù)是其熱裂解性能。 泵在高溫下工作會裂開，由于泵油產(chǎn)生的高蒸汽壓裂紋會導(dǎo)致抗氧化性較差，從而影響泵的極限壓力。 如果由于事故原因，高溫泵油短時間暴露在大氣中，抗氧化能力強(qiáng)的泵油會迅速恢復(fù)其原始性能，而抗氧化性能差的泵油則會變質(zhì)甚至變質(zhì)。 報(bào)廢。 用于超高真空的擴(kuò)散泵，需要長時間連續(xù)運(yùn)行的擴(kuò)散泵，以及每天循環(huán)次數(shù)高的真空設(shè)備，應(yīng)使用較小的熱裂解和高抗氧化性。 應(yīng)使用合成油（例如硅油和聚苯醚）來測量泵油的抗氧化性。 可以在短時間內(nèi)反復(fù)填充到真空系統(tǒng)中的大氣中，直到泵無法正常工作為止。 擴(kuò)散泵油的抗氧化性能如表2-3所示。

  從表2-3中的數(shù)據(jù)可以看出，硅油具有優(yōu)異的抗氧化性和良好的安全性能。  Solbrig曾經(jīng)將系統(tǒng)中的純氧壓力增加到1 / 2atm（1atm = 101325Pa）。 使用DC705和五環(huán)聚苯醚。 兩種油都不會引起爆炸。 另外，硅油具有良好的耐熱性，強(qiáng)大的水蒸氣泵送能力和低回油率。 它價格適中，是超高真空油擴(kuò)散泵的理想工作流體。 硅油的主要缺點(diǎn)是在電子和離子轟擊條件下附著在電極上的油膜會產(chǎn)生固體聚合物硬膜，影響電子設(shè)備和電極的性能，并增加真空電離規(guī)的測量誤差 。 硅油具有很強(qiáng)的蠕變能力，容易污染系統(tǒng)。 在不能使用硅油的體系中，可以代替諸如五環(huán)聚苯醚和癸二酸氫的油。全氟聚醚油（Fomblin）是由碳，氟和氧組成的化合物，不含氫和硅。 具有低蒸氣壓和良好的潤滑性能，更好的熱穩(wěn)定性，在熱解過程中不產(chǎn)生碳?xì)浠衔锖蜌?，也沒有硅化物絕緣膜，并且它不與大多數(shù)腐蝕性化學(xué)物質(zhì)反應(yīng)。 但是在相同的加熱功率條件下，抽速比五環(huán)聚苯醚低，價格也較昂貴。 其主要物理性能如表2-4所示。

  無論使用哪種工作流體，在擴(kuò)散泵運(yùn)行時都必須特別注意大氣，否則含氧的泵油會影響泵的極限壓力。 嚴(yán)重氧化的油只能通過泵本身的分餾來恢復(fù)其泵送性能。 擴(kuò)散泵的所有零件都需要*清潔，并更換新油。 對于常用的清潔液，可以依次用十氫化萘，丙酮或三氯乙烯，丙酮和洗滌脫氧的泵油。 較輕的氧化劑可用丙酮和清洗。 聚苯醚油可溶于三氯乙烯。 由于三氯乙烷的毒性小于三氯乙烯，因此在清潔聚苯醚油時可以使用三氯乙烷，丙酮。 全氟聚醚油必須是氟化的。  （例如三氯三氟乙烷或全氟烷烴）。

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